【汇旺担保】 电子探针显微分析仪

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[拼音]:dianzi tanzhen xianwei fenxiyi

[英文]:electron probe microanalyzer

用电子束轰击固体样品表面,并根据微区内所发射出的 X射线的波长(或能量)的强度进行元素定性、定量分析的仪器,简称电子探针。由电子光学系统、试样台、光学显微镜、 X射线谱仪、电子检测系统和真空系统等组成。其工作原理是将试样置于显微镜下,选定分析位置,以一束细聚焦强电流的电子束激发样品,在直径为1微米、体积为1立方微米区域内的不同元素受激发射出X射线,用波长色散X射线谱仪或能量色散X射线谱仪读出元素的特征X射线,根据特征X射线的强度与浓度的比例关系,进行元素的定量分析。其优点是:测定元素多(原子序数4以上的元素),精密度好,绝对检出限达10-15克;还适用于几微米厚的薄层分析和厚度为几个单分子层的超薄膜分析。对微粒矿物和细小包裹体的鑑定,研究矿物内部的化学均匀性和元素的地球化学特性,具有重要作用。(见彩图)

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